3D共聚焦顯微鏡的功能與技術指標

3D共聚焦顯微鏡用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。可針對如下需求開展測試：如精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的零部件，比如發動機汽缸、刀口等。

3D共聚焦顯微鏡的技術指標：

1）光學相機（3CCD）拍攝分辨率不低于700萬像素；

2）垂直方向測量范圍：＞1.0mm

3）Z軸行程：50 mm

4）垂直分辨率：＜10nm

5）水平分辨率： 0.2μm

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